凈化工程概述復合式：復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈地道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域**籠蓋使潔凈度等級進步至10級以上，可節省安裝運轉用度。此型式需將功課職員之工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴充輕易；B.維修設備時可在維修區等閑執行。(2)潔凈管道(CleanTube)：將產品流程經由的自動出產線包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和功課員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化出產線為相宜使用。藥品、食物業界及半導體業界均合用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級進步為10~1000級以上，認為出產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

①在實施比較好的設計條件之前，應詳細說明ISO擁有的水平。②表面層中的旋風類型表示純化室的氣體特性：u=一個-路流；n，非一條路流；M=混合流形式（U和N的混合物）。③平均旋風速率通常適用于房間中的單向流。單側旋風速度需要在測量區域的形狀下加熱的溫度。單側流速不指濁度的正風。④非邊緣流量和混合流量在一小時內使用自然通風的頻率。使用適用于建筑物高度3.M的無塵房間的系數排放空氣量建議值。⑤注意嚴格的密封對策。⑥硒或旋風天然屏障適用于合理的污染物分離和自然保護區。實際上，在此階段，全球所有**的綜合電路制造企業。生產者根據產品類型進行處理。選擇了生產過程的技術。生產線設備。原材料采購和制造無塵車間的社會經驗和經濟發展證實，綜合電路清潔廠（房屋）的過程（房屋）需要空氣清潔。等級。根據統計數據，集成電路制造企業。制造商在計劃和建造集成電路芯片車間凈化項目時選擇空氣清潔水平。凈化室的木板和空間規劃。空氣凈化設備。凈化室建筑物和其他技術規格。獨特的工程措施。每個都有。不同的。